位移傳感器又稱為線性傳感器，它分為電感式位移傳感器，電容式位移傳感器，光電式位移傳感器，超聲波式位移傳感器，霍爾式位移傳感器.數字式位移尺規由數字式位移傳感器與計數表示器配套組成。

   數字式位移傳感器，其測量桿部與移動光柵固定相連，移動光柵與測量桿部同時移動，與移動光柵相隔一定位置設有固定光柵。各光柵按一定間隔印刷有明暗刻度。為了便于根據測量桿移動的方向（+，-方向）進行計數，A與B兩個固定光柵，其中B光柵比較A光柵偏移1/4P（波長）。光源透過固定與移動2個光柵投射到感光元件。

  如果移動光柵相對應固定光柵產生移動，通過固定光柵的光將會產生明暗的交替變化。此時可以得到2個同周期相位相差90゜的方波信號，根據信號間相位的超前或滯后，即可判斷出測量桿移動的方向，進行計數的加，減計算得到測量的位移量。（圖2）

  數字式位移傳感器的輸出信號的1P（波長）有為4 μm（分辨率為1 μm型號）或40 μm（分辨率為10 μm型號）類型。計數器按4增倍處理，可將1P（波長）分為4份計算，即可得到1/4P的測量分辨率（1 μm或10 μm）。（不包括HS系列）

＊GS-7000系列的1P（波長）為2 μm